[发明专利]扫描显微镜和用于光学扫描一个或多个样本的方法有效
| 申请号： | 201180009191.2 | 申请日： | 2011-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN102782557A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | B·威兹高斯盖;H·比尔克;V·塞弗里德 | 申请（专利权）人： | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 德国韦*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及扫描显微镜形式的装置，用于显微镜的结构单元形式的装置以及用于光学扫描一个或多个样本的方法和装置。扫描显微镜形式的装置具有发射照明光束（32）的光源（42）。聚焦光学系统（24）将所述照明光束（32）聚焦到样本（36）的待检查区域上。致动器装置根据预定扫描模型垂直于照明光束（32）的中轴和/或相对于包括聚焦光学系统（24）的结构单元（20）的外壳移动所述聚焦光学系统（24）。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 显微镜 用于 光学 一个 样本 方法 | ||
【主权项】：
扫描显微镜形式的装置，具有发射照明光束（32）的光源（42），将所述照明光束（32）聚焦到样本（36）的待检查区域上的聚焦光学系统（34），并且具有致动器装置，该致动器装置根据预定扫描模型垂直于照明光束（32）的中轴在照明光束（32）的参考位置上移动所述聚焦光学系统（34）。
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