[发明专利]压电薄膜元件及压电薄膜设备有效
| 申请号： | 201180009228.1 | 申请日： | 2011-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102754232A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 末永和史;柴田宪治;渡边和俊;野本明 | 申请（专利权）人： | 日立电线株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;苗堃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够实现压电特性的提高、并具有高性能、且能够实现制造成品率的提高的压电薄膜元件及压电薄膜设备。压电薄膜元件（1）具备基板（10）和压电薄膜（40），所述压电薄膜（40）设在基板（10）上，具有用通式（NaxKyLiz）NbO3（0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤0.2，x+y+z=1）表示、选自近似立方晶、正方晶、及斜方晶中的至少一种晶体结构，含有以质量比计为80ppm以下的非活性气体元素。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 设备 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜元件，其中，具备基板和压电薄膜；所述压电薄膜设在所述基板上，具有用通式（NaxKyLiz）NbO3表示、选自近似立方晶、正方晶、及斜方晶中的至少一种晶体结构，含有以质量比计为80ppm以下的非活性气体元素，在所述通式中，0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤0.2，x+y+z=1。
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