[发明专利]在虚拟量测中使用适应性预测算法及决定何时使用适应性预测算法的方法及设备有效
| 申请号： | 201180009965.1 | 申请日： | 2011-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102763048A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 詹姆士·莫尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文在此描述用于决定虚拟量测的适应性预测算法的方法、装置和系统。在一些具体实施例中，一种计算机可实施方法识别多个预测算法。该方法决定：何时使用多个预测算法的一个或多个来预测在制造设备(manufacturing facility)中的一或多个虚拟量测变量。 | ||
| 搜索关键词： | 虚拟 量测中 使用 适应性 预测 算法 决定 何时 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种计算机可实施方法，其包含以下步骤：识别多个预测算法；及决定何时使用上述多个预测算法的一个或多个以预测在制造设备中的一或多个虚拟量测变量。
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