[发明专利]包含含有包括磺酰胺官能团的重复单元的聚合物的顶涂层组合物，含有其的光刻胶组合物及其使用方法有效
| 申请号： | 201180010036.2 | 申请日： | 2011-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN102763039A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | D·P·桑德斯;藤原昌生;照井贵阳 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司;中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 彭立兵;林柏楠 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： |
本发明提供了用于光刻工艺的含有磺酰胺的组合物、顶涂层聚合物和添加剂聚合物，其相对于本领域已知的而言具有改善的静态后退水接触角。本发明的含有磺酰胺的顶涂层聚合物和添加剂聚合物包含如式(I)所示的具有支化的连接基团的磺酰胺取代的重复单元。 |
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| 搜索关键词： | 包含 含有 包括 磺酰胺 官能团 重复 单元 聚合物 涂层 组合 光刻 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种组合物，其包含根据式(I)的含有磺酰胺基团和支化的连接基团的重复单元![]()
其中：R1和R2独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；R3选自氢、卤素、C1-C12烷基和氟化C1-C12烷基；R4、R5和R6独立地选自氢、氟、C1-C12烷基和氟化C1-C12烷基；R7为氟化C1-C12烷基；和R4、R5和R6至少之一包含碳。
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