[发明专利]压电致动器机构无效
| 申请号： | 201180010060.6 | 申请日： | 2011-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN102783009A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 高野昌宏;广崎宪一;新谷隆二;吉田勇太;南川俊治;中野幸一;长田卓也;槙野翔;市村悟;吉田崇;石田真之;河合博司;泷本干夫;中村健太郎 | 申请（专利权）人： | 石川县;西格玛光机株式会社;日硬株式会社;国立大学法人东京工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王成坤;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供如下的全长较短且小形的压电致动器机构：适用于光学系统中的反射镜保持架的调整以及直线移动台的可动工作台的定位的自动操作，能够进行高精度的位置/角度调整、找位。本发明的压电致动器机构具有基于进给丝杠（11）和进给丝杠螺母（14）的丝杠进给机构；安装在该进给丝杠螺母（14）的后端面的圆盘形转子（17）；具有与转子（17）的周面接触的压电振子（21）的超声波电动机（18）；以及通过弹簧力被按压到进给丝杠（11）的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部，被动安装部例如是在光学系统中使用的反射镜保持架（1）或直线移动台（10）的可动工作台（21）。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 致动器 机构 | ||
【主权项】：
一种压电致动器机构，其特征在于，具有：基于进给丝杠和进给丝杠螺母的丝杠进给机构；安装在所述进给丝杠螺母的后端面上的圆盘形转子；具有与所述转子的周面接触的压电振子的超声波电动机；以及通过弹簧力被按压到所述进给丝杠的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部。
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