[发明专利]紫外线氧化和超纯水制造的装置及方法

摘要

本发明提供了一种紫外线氧化装置及使用其的超纯水制造装置、及紫外线氧化方法及超纯水制造方法。该紫外线氧化装置具有：流动槽10，使被处理水单向流动；光催化剂纤维12，以被处理水可通过方式配置于流动槽10内；紫外线照射部14，可照射紫外线；以及紫外线照射部收容部16，设置于与流动槽10内的被处理水的流动方向交叉的面的整个区域，收容紫外线照射部14；该紫外线照射部收容部16形成为：使被处理水从上游侧朝所收容的紫外线照射部14流入该收容部内，使其于该收容部16内流动后，往下游侧流出，且该紫外线照射部收容部由可使来自紫外线照射部14的紫外线照射于该光催化剂纤维的材料所构成。

主权项

一种紫外线氧化装置，其具备有：流动槽，使被处理水单向流动；光催化剂纤维，以被处理水可通过方式配置于该流动槽内；紫外线照射部，可照射紫外线；以及紫外线照射部收容部，设置于与该流动槽内的被处理水的流动方向交叉的面的整个区域，且收容该紫外线照射部；该紫外线照射部收容部形成为：使被处理水从上游侧朝所收容的紫外线照射部流入该收容部内，使其于该收容部内流动后，往下游侧流出，且该紫外线照射部收容部由可使来自紫外线照射部的紫外线照射于该光催化剂纤维的材料所构成。