[发明专利]涂装膜的检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201180010990.1 | 申请日： | 2011-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102770750A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 大竹秀幸;上原让;高柳顺 | 申请（专利权）人： | 爱信精机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及涂装膜的检查装置及检查方法。涂装膜的检查装置具有：发生太赫兹波的太赫兹波发生器；将所述太赫兹波向形成有膜的试料照射的照射光学系统；对在所述试料被反射的太赫兹波进行检测的太赫兹波检测器；控制部，其将检测出的太赫兹波的电场强度表示成时间轴的波形数据，从波形数据检测多个波峰，并基于波峰间的时间差算出膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 涂装膜 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种涂装膜的检查装置，其特征在于，具有：发生太赫兹波的太赫兹波发生器；将所述太赫兹波向形成有膜的试料照射的照射光学系统；对在所述试料被反射的太赫兹波进行检测的太赫兹波检测器；以及控制部，其将检测出的太赫兹波的电场强度表示成时间轴的波形数据，从波形数据检测多个波峰，并基于波峰间的时间差算出膜厚。
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