[发明专利]层叠研磨垫有效
| 申请号： | 201180011574.3 | 申请日： | 2011-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102811838A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 数野淳 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供研磨层与缓冲层不易剥离的层叠研磨垫。本发明的层叠研磨垫中，不具有贯通区域的研磨层与缓冲层借助胶粘构件而层叠，其特征在于，在所述研磨层的背面侧设置有至少一个从研磨层的中心区域延续至外周端的非胶粘区域X，并且/或者在所述胶粘构件上设置有至少一个从胶粘构件的中心区域延续至外周端的非胶粘区域Y。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 研磨 | ||
【主权项】：
一种层叠研磨垫，其中不具有贯通区域的研磨层与缓冲层借助胶粘构件而层叠，其特征在于，在所述研磨层的背面侧设置有至少一个从研磨层的中心区域延续至外周端的非胶粘区域X，并且/或者，在所述胶粘构件上设置有至少一个从胶粘构件的中心区域延续至外周端的非胶粘区域Y。
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