[发明专利]研磨垫有效
| 申请号： | 201180011578.1 | 申请日： | 2011-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN102781626A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 数野淳 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供平坦化特性优良且能够抑制划痕产生的研磨垫。本发明的研磨垫包含具有椭圆气泡的研磨层，其特征在于，所述椭圆气泡的长轴相对于研磨层的厚度方向倾斜5°~45°。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，包含具有椭圆气泡的研磨层，其特征在于，所述椭圆气泡的长轴相对于研磨层的厚度方向倾斜5°~45°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东洋橡胶工业株式会社，未经东洋橡胶工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180011578.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：汽车置物板
- 下一篇：顶衬包边结构、顶衬及阅读灯与顶衬的连接结构
