[发明专利]用于使产品衬底与载体衬底脱离的设备和方法

摘要

用于借助如下装置使产品衬底与通过连接层同该产品衬底连接的载体衬底脱离的设备：膜框架；与该膜框架连接的柔性膜，所述柔性膜在膜的接触面区段中具有用于容纳产品衬底的粘结层，其中该膜在膜的围绕接触面区段的附着区段中与膜框架连接；以及通过膜框架和膜形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，其中产品衬底和连接层可被容纳在该储溶剂器中；和用于将溶剂引入储溶剂器中的引入装置以及用于使产品衬底与载体衬底脱离的脱离装置。此外，本发明还涉及一种用于通过如下方式来使产品衬底与和产品衬底脱离的方法：构造通过膜框架和与膜框架连接的柔性膜形成的用于容纳用于分离连接层的溶剂的储溶剂器，以及将产品衬底和连接层容纳在储溶剂器中以及将溶剂引入储溶剂器中并且使产品衬底与载体衬底脱离。

主权项

一种用于使产品衬底（4）与通过连接层（6）同该产品衬底（4）连接的载体衬底（2）脱离的设备，其具有如下特征：‑ 膜框架（1），‑ 与该膜框架（1）连接的柔性膜（3），所述柔性膜（3）在膜（3）的接触面区段（3k）中具有用于容纳该产品衬底（4）的粘结层（3s），其中膜（3）在膜（3）的围绕该接触面区段（3k）的附着区段（3b）中与该膜框架（1）连接，‑ 通过该膜框架（1）和膜（3）形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离该连接层（6）的溶剂（22）的储溶剂器（20），其中该产品衬底（4）和该连接层（6）能够被容纳在该储溶剂器（20）中，‑ 用于将该溶剂（22）引入到该储溶剂器（20）中的引入装置（23），以及‑ 用于使该产品衬底（4）与该载体衬底（2）脱离的脱离装置。