[发明专利]高速机械手运输下修正移动引起失真的工件表面成像方法

摘要

提供一种用于成像工件的方法，在工件由机械手传递的同时，通过撷取狭长型静态视野(相对于机械手的工件运送路径横向延伸)的连续画面来成像工件。以狭长型照明模式(相对于运送路径横向延伸)照射机械手运送路径，来获得连续画面的工件图像。通过计算沿着运送路径的画面的各画面的相应的正确位置来修正移动所引起的图像失真。

主权项

一种用于获得在处理系统中的工件的图像的方法，所述处理系统包含至少一个处理腔室及机械手，所述机械手用于沿着工件运输路径传递工件进出所述至少一个腔室，所述方法包括以下步骤：在所述工件由所述机械手而沿着所述工件运送路径的运送路径部分传递的同时，撷取狭长型静态视野的连续画面，所述狭长型静态视野相对于所述运送路径部分横向延伸；在所述连续画面的所述撷取的步骤期间，以狭长型照明模式照射所述运送路径部分，所述狭长型照明模式相对于所述运送路径部分横向延伸；限定包含所述连续画面的所述工件的图像；计算沿着所述运送路径部分的方向的所述画面的各画面的相应的正确位置，且通过将所述图像中各画面的位置限定为所述相应的正确位置，而修正所述图像。