[发明专利]表面检查装置

摘要

本发明提供一种表面检查装置，其具备：环形照明装置（3），其具有环状的光射出部（3A）、在该光射出部与钢板（2）之间具有与光射出部为同心圆状并且内径比该光射出部的内径小的光学开口部的遮光板（3B）；摄像部（4），其配置于遮光板的开口部的中心线（C）上，并且经由该开口部对钢板（2）的表面进行摄像；在摄像部（4）摄像的钢板表面上的摄像区域（A），仅照射从光射出部照射出的光中的被遮光板（3B）的开口部边缘部衍射的光，设定光射出部与钢板（2）表面之间的距离（H），使摄像区域（A）内的平均亮度级别在规定等级以上，且使该摄像区域（A）内的亮度级别差在规定范围内。由此，能够精度良好地进行微小点状缺陷的检测。

主权项

一种表面检查装置，其特征在于，具备：环形照明装置，其具有环状的光射出部、在该光射出部与检查对象物之间具有与该光射出部为同心圆状且内径比该光射出部的内径小的光学开口部的遮光板；摄像部，其配置在所述遮光板的开口部的中心线上，并且经由该开口部对所述检查对象物的表面进行摄像；在所述摄像部摄像的所述检查对象物表面上的摄像区域，仅照射从所述光射出部照射出的光中的被所述遮光板的开口部边缘部衍射的光，设定所述光射出部与所述检查对象物表面之间的距离，以使所述对象物表面上的摄像区域内的平均亮度级别在规定等级以上，且使该摄像区域内的亮度级别差在规定范围内。