[发明专利]幅材制备工艺中专用的重复缺陷检测

摘要

本发明描述了如下技术，所述技术用于检测幅材以及控制所述幅材向一个或多个产品随后转换。本发明描述了如下系统，所述系统（例如）包括成像装置、分析计算机和转换控制系统。所述成像装置对所述幅材成像以提供数字信息。所述分析计算机处理所述数字信息，以辨识所述幅材上包含异常的区域。所述转换控制系统随后分析所述数字信息，以确定哪些异常表示多个不同产品的实际缺陷。所述幅材检测系统可根据给定异常为重复异常还是随机异常来优先地应用不同的专用缺陷检测法。

主权项

一种方法，包括：对幅材的连续部分成像以提供数字信息；采用至少一种初始算法来处理所述数字信息，以辨识所述幅材上包含异常的区域；辨识所述异常在所述幅材上的位置；根据所述幅材上的所述位置，将一组所述异常辨识为重复异常，并且将剩余的异常辨识为随机异常；采用第一缺陷检测算法来分析所述重复异常的所述数字信息，以确定所述重复异常中的哪些表示产品的实际缺陷；采用第二缺陷检测算法来分析所述随机异常的所述数字信息，以确定所述随机异常中的哪些表示所述产品的实际缺陷；以及根据所确定的所述产品的实际缺陷将所述幅材转换成产品。