[发明专利]研磨装置、研磨垫及研磨信息管理系统有效
| 申请号： | 201180013609.7 | 申请日： | 2011-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102802871A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 朴栽弘 | 申请（专利权）人： | 霓达哈斯股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/20;B24B49/10;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 张路;王琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在研磨垫中埋设有传感器、用以存储藉由传感器而获得的检测信息的存储器、及藉由电源部的驱动而与外部非接触地进行通信的通信器。包含上述结构的研磨垫、及可与设于研磨垫的通信器非接触地进行通信的通信部，用以构成研磨信息管理系统。进而，研磨装置具有：上述结构的研磨垫、及可与设于研磨垫的通信器非接触地进行接收和发送的通信部。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 信息管理 系统 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，其特征在于，设置有：传感器；存储器，用以存储藉由所述传感器而获得的检测信息；电源部；以及通信器，与外部非接触地进行通信。
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