[发明专利]压电薄膜器件和压电薄膜装置有效
| 申请号： | 201180013990.7 | 申请日： | 2011-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN102804436A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 柴田宪治;末永和史;渡边和俊;野本明;堀切文正 | 申请（专利权）人： | 日立电线株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/18 | 分类号： | H01L41/18;C04B35/00;C23C14/08;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/22;H01L41/24 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压电薄膜器件，其具有基板(1)和设置于所述基板(1)上的用组成式(K1-xNax)yNbO3表示的碱性铌氧化物系钙钛矿结构的压电薄膜(3)，所述压电薄膜(3)的碳浓度为2×1019/cm3以下，或者所述压电薄膜(3)的氢浓度为4×1019/cm3以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 器件 装置 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜器件，其具有基板和设置于所述基板上的用组成式(K1‑xNax)yNbO3表示的碱性铌氧化物系钙钛矿结构的压电薄膜，所述压电薄膜的碳浓度为2×1019/cm3以下。
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