[发明专利]用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统有效
| 申请号： | 201180014639.X | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103119194A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 安东尼奥·安德烈·真蒂莱;萨尔瓦托雷·莫德奥 | 申请（专利权）人： | 安东尼奥·安德烈·真蒂莱和萨尔瓦托雷·莫德奥MRS普通合伙公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王初 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 在薄膜沉积设备中对材料进行收集回收的装置，特征在于元件（3）能截获在沉积过程中材料的浪费部分。这些元件：布置在各模块（1、5）中，根据沉积腔室的形状可组合成多种构造；依据待回收的材料，由于机电驱动器（4）、机械传动系统（6、10、15a、15b）、在驱动器（4）与沉积过程的软件/面板控制器间的电子接口（9）而回转从而使元件转动自动化；是可拆除的；能与所收集材料分离。这些元件具体地可以是栅板（3），竖向设置在每一模块（1、5）中，由复合材料制成，该材料特征是金属材料或氧化铝（两者都适于超高真空条件）的芯部、和两个表面聚合物层，表面聚合物层对所选芯部具有低粘着力因此能被容易地去除，同时耐受沉积腔室的温度-压力条件。 | ||
| 搜索关键词： | 用来 收集 回收 沉积 材料 薄膜 设备 系统 | ||
【主权项】：
用于在薄膜沉积设备中对材料进行收集和回收的装置，其特征在于，元件（3）能够截获来自于沉积过程的材料的浪费部分，所述元件：布置在各个模块（1、5）中，能够根据沉积腔室的形状组合成多种构造；依据待回收的材料，借助于如下构件而回转：机电驱动器（4）；机械传动系统（6、10、15a、15b）；在驱动器（4）与沉积过程（9）的软件/面板控制器之间的电子接口（9），从而使所述元件的转动自动化；是可拆除的；能够与所收集的材料分离。
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