[发明专利]用于固化移动基板上的薄膜的装置

摘要

本发明公开了一种用于固化薄膜的装置。所述装置包括：计算机控制系统、传送系统、闪光灯控制器以及闪光灯。所述固化装置还包括连接在所述闪光灯和所述闪光灯控制器之间的高平均功率、低电感电缆。所述低电感电缆直径较小并且比现有技术更具有挠性，并且包括：以常规六方密堆配置交织的至少一个液体冷却线路和多个前向和返回路径线缆，使得每个线缆邻接到至少一个冷却线路和相反极性的至少一个线缆。

主权项

一种用于固化移动基板上的薄膜的装置，所述装置包括：传送系统，用于移动在基板上设置的薄膜的层；闪光灯，用于在相对于所述闪光灯移动所述薄膜时将电磁脉冲提供给所述薄膜;闪光灯控制器，用于调制所述电磁脉冲的脉冲宽度；以及低电感电缆，连接在所述闪光灯和所述闪光灯控制器之间，其中所述低电感电缆包括：冷却芯；多个耦合到所述冷却芯的返回路径电缆；以及多个耦合到所述冷却芯的前向路径电缆，其中所述前向路径电缆交织地耦合到所述返回路径电缆。