[发明专利]用于执行图案对准的方法和装置有效
| 申请号： | 201180015336.X | 申请日： | 2011-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN103026299A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | M·沃尔斯登;T·奥斯特罗姆;P-E·古斯塔夫森 | 申请（专利权）人： | 密克罗尼克麦达塔公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 瑞典，*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 公开了一种在一系列写入机中图案化工件的多个层的方法，其中归因于不同机器的不同变换能力的误差通过将误差分配在多个层上来补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 执行 图案 对准 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件的多个层的方法，所述方法在所述工件的第一层N上写第一图案时应用，其中在将随后层N+1的第二图案配合到所述第一层时可用准确度的边界条件被确定；所述方法包括下列步骤：a.接收关于在对所述随后层N+1执行所述第二图案的有限变换时的限制的先验信息；b.计算：i.呈现对前一层N‑1的最佳配合的所述第一层N的所述第一图案的最佳配合变换，所述最佳配合变换使用对在所述第一层N上写可用的对准变换来计算；以及ii.所述最佳配合变换与完美配合的偏差；c.计算：i.在对所述第二层N+1的所述第二图案变换以将朝向配合到所述前一层N‑1时应用的有限变换，以及ii.所述有限变换与完美配合的偏差；d.计算所述最佳配合变换和所述有限变换之间的所述偏差中的差异；e.通过加上所述偏差中的所述差异的可选择部分来计算所述最佳配合变换的补偿；f.计算包括所述补偿的经调整的第一图案；g.验证所述经调整的第一图案在所述第一层N的对准容差内；h.如被肯定地验证，则将所述经调整的第一图案写在所述第一层N上。
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