[发明专利]动态流体阀及其建立方法有效
| 申请号： | 201180015456.X | 申请日： | 2011-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN102822382A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | V·库兹耐特索夫;P·塔克 | 申请（专利权）人： | 磊威技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/455;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种方法，该方法包括：以加工空间气氛压力提供加工空间气氛；以外部气氛压力提供外部气氛，所述外部气氛压力不同于所述加工空间气氛压力；提供通路，通过所述通路使得外部气氛与加工空间气氛开放连通，基材可通过所述通路在外部气氛和加工空间气氛之间交换；在至少一个交换流体注入点向通路中注入交换流体，从而使交换流体流动通过至少一部分通路，其中所述流动：○在外部气氛压力大于加工空间气氛压力的情况下朝向外部；或者○在外部气氛压力小于加工空间气氛压力的情况下朝向加工空间。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 流体 及其 建立 方法 | ||
【主权项】：
基材加工设备（1），其包含：‑加工空间（202）；‑压力调节装置，所述压力调节装置配置成维持所述加工空间中的加工空间气氛的加工空间气氛压力不同于基材加工设备的外部（2）中的外部气氛的外部气氛压力；‑通路（104），基材加工设备的外部（2）与加工空间（202）通过所述通路（104）开放连通，基材（10）可通过所述通路（104）在外部和加工空间之间交换；以及‑交换流体注入装置（114、124；112、122），所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成在至少一个交换流体注入点将交换流体注入到通路（104）中，从而使交换流体流动通过至少一部分通路，其中所述流动：○在外部气氛压力大于加工空间气氛压力的情况下朝向外部；或者○在外部气氛压力小于加工空间气氛压力的情况下朝向加工空间。
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