[发明专利]金属基基板及其制造方法有效
申请号: | 201180015855.6 | 申请日: | 2011-03-23 |
公开(公告)号: | CN102822112A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 守屋要一;胜部毅;武森祐贵;金森哲雄;杉本安隆;高田隆裕 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | C04B35/00 | 分类号: | C04B35/00;C04B35/16;C04B37/02;H05K1/05;H05K3/44;H05K3/46 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯莉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在由铜形成的金属板上形成有低温烧结陶瓷层的金属基基板中,提高金属板和低温烧结陶瓷层的接合可靠性。通过在由铜形成的金属板(14)的表面上层叠包含含有换算成BaO为10~40摩尔%的钡和换算成SiO2为40~80摩尔%的硅的低温烧结材料的低温烧结陶瓷生坯层,从而制作生的层叠体,在低温烧结陶瓷生坯层烧结的温度下对该生的层叠体进行烧成。在这样得到的金属基基板(12)中的金属板(14)和低温烧结陶瓷层(15)之间形成由Cu-Ba-Si系玻璃形成的厚1~5μm的玻璃层(22)。该玻璃层(22)显示良好的接合可靠性。 | ||
搜索关键词: | 金属 基基板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种金属基基板,其特征在于,具有金属板、在所述金属板上形成的厚1~5μm的玻璃层、在所述玻璃层上形成的低温烧结陶瓷层。
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