[发明专利]用于执行与多个管芯的图案对准的方法和装置

摘要

一种在多层堆栈的制造中在直接写入机中图案化工件的方法，其中包括连接点的图案的第一电路图案（1304）根据确定的配合容差来变换以配合到第二电路图案（1306）的连接点和工件上或工件中的特定特征（例如随机放置的管芯或管芯组）的电路图案。第二层可以是在堆栈的同一工件上或不同工件上以前形成的层或将被形成的层。与选定的管芯相关的图案数据使用由变换位置定义的变换来变换成经调整的电路图案数据，使得电路图案配合到选定的管芯。

主权项

一种在多层堆栈的制造中在直接写入机中图案化第一工件的一层的方法，其中所述直接写入机设置有用于控制在其上分布有多个管芯的所述第一工件的第一层上的写操作的坐标系，其中所述多个管芯每个具有多个连接点；所述方法包括下列步骤：a.检索表示所述第一工件的所述第一层的至少一个第一子区域的第一电路图案的第一电路图案数据，其中所述至少一个第一子区域与所述第一层的所述多个管芯中的至少一个管芯相关并覆盖所述至少一个管芯；b.检索表示与第二层的一个或多个特定特征的多个连接点相关的至少第二子区域的第二电路图案的第二电路图案数据，其中所述第二层是所述第一工件的一个或多个前面或后面的层和/或在将连接到所述第一工件的第二工件中的一个或多个层，且其中所述第一层的所述至少一个管芯的所述多个连接点中的至少一个被调适用于连接到所述第二层的一个或多个特定特征的连接点中的至少一个；c.确定至少针对所述第一层的所述第一子区域调整所述第一电路图案所需的第一配合容差；d.确定调整所述第一电路图案使得经调整的第一电路图案的连接点配合到表示所述第二层的所述一个或多个特定特征的至少一个第二电路图案的连接点所需的第二配合容差；e.准备经调整的第一电路图案数据，其将所述经调整的第一电路图案i.在所述所需的第一配合容差内配合到所述第一层的所述至少一个第一子区域；以及ii.在所述第二配合容差内配合到表示到所述至少一个第二电路图案的所述一个或多个特定特征的连接点中的至少一个的所述至少一个第一子区域的所述第一电路图案的所述至少一个管芯的连接点中的至少一个；f.根据所述经调整的第一电路图案数据将图案写在所述第一工件上。