[发明专利]集成式机电致动器有效
| 申请号： | 201180016557.9 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102822931A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | M·德蓬 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;张亚非 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造过程中通过蚀刻被除去的牺牲层的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 机电 致动器 | ||
【主权项】：
一种集成式机电致动器（1），包括：‑致动器电极，在所述致动器电极之间具有静电致动器间隙，‑接触电极，在所述接触电极之间具有电接触间隙，其中在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。
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