[发明专利]II-VI族化合物半导体多晶的合成方法有效
申请号: | 201180016917.5 | 申请日: | 2011-03-11 |
公开(公告)号: | CN102859051A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 朝日聪明;野田朗 | 申请(专利权)人: | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
主分类号: | C30B29/48 | 分类号: | C30B29/48;C01B19/04;C22C1/02;C30B11/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 孙秀武;孟慧岚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供II-VI族化合物半导体多晶的合成方法,其中,即使不使用石英安瓿作为多晶合成中使用的容器,也可以进行合成,由此在不降低收率的情况下,可以实现容器的大型化,实现成本降低。其中,将两种以上原料元素放入到半密闭型pBN制内侧容器(6a)内,进而将该内侧容器放入到半密闭型耐热性外侧容器(6b)中,并配置在具有加热机构(7)的高压炉(1)内,对高压炉内进行排气并用规定压力的惰性气体充满后,利用加热机构加热外侧容器和内侧容器使其升温,使内侧容器内的原料元素熔解、反应后,缓慢降低温度,由此使多晶生长。 | ||
搜索关键词: | ii vi 化合物 半导体 多晶 合成 方法 | ||
【主权项】:
II‑VI族化合物半导体多晶的合成方法,其特征在于,将两种以上原料元素放入到半密闭型pBN制内侧容器内,进而将该内侧容器放入到半密闭型耐热性外侧容器中,并配置在具有加热机构的高压炉内,对所述高压炉内进行排气并用规定压力的惰性气体充满后,利用所述加热机构加热所述外侧容器和内侧容器使其升温,使所述内侧容器内的原料元素熔解、反应后,缓慢降低温度,由此使多晶生长。
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