[发明专利]柔性和/或可伸缩的衬底上的组件布局有效
申请号: | 201180017534.X | 申请日: | 2011-02-09 |
公开(公告)号: | CN102822960A | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | M·M·顾特瑟;H·F·M·斯赫欧;M·M·德科克 | 申请(专利权)人: | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
主分类号: | H01L21/98 | 分类号: | H01L21/98;H01L21/68;H01L51/56;H05K3/30 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 张颖玲;武晨燕 |
地址: | 荷兰代*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 根据一个方面,本发明提供了一种在可伸缩衬底上布局组件的方法,包括以下步骤:提供具有可伸缩衬底层的衬底;提供柔性薄片,该柔性薄片包括多个柔性薄片组件的整体式布置(20),每个柔性薄片组件都包括用于电子/光学接入到所述柔性薄片组件的组件垫;对应于所述整体式布置中的所述组件垫,在所述可伸缩衬底层上提供面内互连轨迹;对齐所述衬底和所述柔性薄片以便在基于卷的制造工艺中使用;通过所述衬底和所述柔性薄片的层压,在所述轨迹和所述整体式组件布置的组件垫之间提供电子/光学通孔连接;以及使所述柔性薄片组件的整体式布置机械地分离以便提供多个彼此机械分离的组件,以便在所述可伸缩衬底层上布置电子/光学互连组件系统。本发明的益处是:其可以在多薄片系统的制造工艺中使用。 | ||
搜索关键词: | 柔性 伸缩 衬底 组件 布局 | ||
【主权项】:
一种在可伸缩衬底上生产多个不可伸缩薄片器件组件的电子/光学互连组件系统的方法,包括以下步骤:提供具有可伸缩衬底层(1)的衬底(10);提供不可伸缩柔性薄片(6),所述不可伸缩柔性薄片(6)包括多个柔性薄片组件(2)的整体式布置(20),每个所述柔性薄片组件(2)都包括用于电子/光学接入到所述柔性薄片组件(2)的组件垫(7);对应于所述整体式布置(20)中的所述组件垫(7),在所述提供可伸缩衬底层(1)上提供面内互连轨迹(3);对齐所述衬底(10)和所述柔性薄片(6),以便在基于卷的制造工艺中使用;通过所述衬底(10)和所述柔性薄片(6)的层压,在所述轨迹(3)和所述整体式组件布置(20)的组件垫(7)之间提供电子/光学通孔连接;以及使所述柔性薄片组件(2)的整体式布置(20)机械地分离,以便在所述可伸缩衬底层(1)上提供多个彼此机械分离的组件(2),由此形成互连组件系统(111),所述互连组件系统(111)包括所述可伸缩衬底层(1)以及在所述可伸缩衬底层(1)上提供的所述机械分离的组件(2),所述互连组件系统由此恢复了伸缩性,而不失去其电子/光学功能。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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