[发明专利]用于形成压电超声换能器的方法和相关的设备

摘要

本发明提供了用于形成金属或其它导电构件的方法，该导电构件从限定空气背衬腔的压电超声换能器(pMUT)设备的空气背衬腔延伸通过邻近pMUT装置的换能器装置设置的基板层并与pMUT装置的第一电极形成导电接合，使得导电构件在第一电极和沉积在pMUT装置的空气背衬腔中的保形导电层之间提供导电接合。也提供了相关的设备。

主权项

一种形成压电超声换能器设备的方法，所述方法包括：在设置在装置基板上的介电层上形成换能器装置，所述装置基板进一步设置在主基板上，所述换能器装置包括设置在所述介电层上的第一电极和设置在所述第一电极和第二电极之间的压电材料；将载体基板结合到与所述第一电极相对的所述换能器装置的所述第二电极；移除所述主基板；蚀刻所述装置基板和所述介电层以限定延伸到所述第一电极的第一通孔；沉积第一导电材料以基本上填充所述第一通孔；使支撑构件与所述装置基板和所述第一导电材料接合；将所述载体基板从所述换能器装置上移除；蚀刻所述支撑构件以限定延伸到所述装置基板和所述第一导电材料的第二通孔；以及将第二导电材料沉积在限定所述第二通孔的所述支撑构件、所述装置基板和所述第一导电材料上，使得所述第二导电材料与所述第一导电材料形成导电接合。