[发明专利]机电装置的机械层及其形成方法

摘要

本发明提供机械层(14)及其形成方法。在一个方面中，一种机电系统装置包含衬底(20)以及具有激活位置及松弛位置的机械层(14)。所述机械层与所述衬底间隔开以界定可收缩间隙(19)。所述间隙在所述机械层处于所述激活位置时处于收缩状况且在所述机械层处于所述松弛位置时处于非收缩状况。所述机械层包含反射层(121)、导电层(123)及支撑层(122)。所述支撑层定位于所述反射层与所述导电层之间且经配置以支撑所述机械层。

主权项

一种机电装置，其包括：衬底；部分反射光学堆叠，其安置于所述衬底上；及可移动机械层，其经定位以使得所述部分反射光学堆叠在所述机械层与所述衬底之间，所述机械层包含反射层、导电层及安置于所述反射层与所述导电层之间的支撑层，其中所述支撑层锚定于所述光学堆叠上处于光学非作用锚定区中且从所述锚定区远离所述光学堆叠延伸，从而使所述机械层与所述光学堆叠间隔开以在所述机械层与所述光学堆叠之间界定可收缩间隙，其中所述机械层可通过跨越所述机械层及安置于所述衬底与所述可收缩间隙之间的固定电极施加电压而移动到激活位置及松弛位置，且其中所述可收缩间隙在所述机械层处于所述激活位置时处于收缩状态，且所述间隙在所述机械层处于所述松弛位置时处于非收缩状态。