[发明专利]基板匣、基板保管装置及基板处理系统有效
| 申请号： | 201180018294.5 | 申请日： | 2011-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN102834340A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 浜田智秀;木内彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65H75/36 | 分类号： | B65H75/36;B65H20/34;H01L51/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基板匣(CTR)，具备：收容部(1)、搬出口(3)、搬入口(2)、导引部(4)。收容部(1)收容带状的基板(FB)。搬出口(3)及搬入口(2)是设于收容部(1)且供基板(FB)通过。导引部(4)将基板(FB)从搬入口(2)导引至搬出口(3)。导引部(4)包含可动导引板(45)及移动滚筒(47,48)。移动滚筒(47,48)包含伸缩部(52b)。首先，可动导引板(45)被保持水平且伸缩部(52b)收缩。基板(FB)的前端部支承在导引板(45)上。当使用搬入滚筒(23)送入基板(FB)时，导引板(45)旋动成垂直姿势。随着基板(FB)搬入，伸缩部(52b)逐渐延伸。基板匣(CTR)是连接于基板处理装置(FPA)。 | ||
| 搜索关键词： | 基板匣 保管 装置 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种基板匣，具备：收容部，其收容形成为带状的基板；搬出口，其设于该收容部，用以将该基板搬出；搬入口，其设于该收容部，用以将该基板搬入；以及导引部，其将收容于该收容部的该基板的前端部从该搬入口导引至该搬出口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180018294.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：节能免更换重柴油过滤器
- 下一篇：电动擦背机
- 同类专利
- 专利分类
