[发明专利]旋流形成体及非接触式运送装置有效
申请号: | 201180018686.1 | 申请日: | 2011-02-24 |
公开(公告)号: | CN102892693A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 小泽秀夫;角田耕一;安田贵裕;松本浩司 | 申请(专利权)人: | 翁令司工业股份有限公司 |
主分类号: | B65G51/03 | 分类号: | B65G51/03;B65G49/06;H01L21/677 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 段承恩;杨光军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供可减少非接触式运送装置的制造成本且防止被运送物的浮起高度的精度下降的旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置。该旋流形成体1具备:碗状的主体1a,其具有在表面侧开口的俯视呈圆形的孔部1b;流体喷出口1k,其在形成该主体的孔部的内表面开口;和流体取入口1l,其在主体的外表面开口且与流体喷出口连通,通过从流体喷出口喷出流体,在主体的表面侧产生朝向从该表面离开的方向的上升旋流。能够将该旋流形成体1和产生俯视呈相反方向的旋流的旋流形成体4在基体2的运送面2a配置两个以上而构成非接触式运送装置,能够将旋流形成体设置于在基体的运送面形成的凹部(收置部2b)中。 | ||
搜索关键词: | 流形 成体 接触 运送 装置 | ||
【主权项】:
一种旋流形成体,其特征在于,具备:碗状的主体,其具有在表面侧开口的俯视呈圆形的孔部;流体喷出口,其在该主体的形成所述孔部的内表面开口;和流体取入口,其在所述主体的外表面开口且与所述流体喷出口连通,通过从所述流体喷出口喷出流体,在所述主体的表面侧产生朝向从该表面离开的方向的上升旋流。
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