[发明专利]排气泵

摘要

提供一种适合于实现耐久性、泵生产阶段中的连通开口部的加工性、及排气性能的提高的排气泵。排气泵具备筒形旋转部件（6）、筒形旋转部件（6）的支承机构、旋转驱动筒形旋转部件（6）的驱动机构、对包围筒形旋转部件（6）的外周成包围之状而配置的外侧筒形固定部件、被筒形旋转部件（6）的内周成被包围之状而配置的内侧筒形固定部件、设在筒形旋转部件（6）与外侧筒形固定部件之间的螺旋状的外侧螺纹槽排气通路、设在筒形旋转部件（6）与内侧筒形固定部件之间的螺旋状的内侧螺纹槽排气通路、和开设在筒形旋转部件（6）上、将存在于筒形旋转部件（6）的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路的连通开口部（H）；设在比连通开口部（H）还要上游的筒形旋转部件（6）的外周上的最下段的旋转翼（13E）与连通开口部（H）上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设连通开口部（H）的工具能够插入的尺寸以上。

主权项

一种排气泵，具备：筒形旋转部件；支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；其特征在于，在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。