[发明专利]超声波传感器机组及超声波探测器无效
| 申请号： | 201180020031.8 | 申请日： | 2011-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN102884814A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 李昇穆 | 申请（专利权）人： | 株式会社意捷莫斯尔 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;A61B8/00;G01N29/24 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王吉勇 |
| 地址： | 日本国大阪府和泉市艾友密*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超声波传感器机组及超声波探测器。该超声波传感器机组具有多个超声波传感器１０。该超声波传感器１０，具有在绝缘性基板２的上面形成的凹槽部２２；在该凹槽部２２的底部被埋设的基板电极３；设置为以覆盖该凹槽部２２的振动膜１。该超声波传感器机组及超声波探测器不仅省略了形成待除层的工序，还省略了开孔的工序及省略了化费工时的蚀刻该待除层的蚀刻工序，另外还提高了再现性和可靠性，且能以简化了的工序，制造超声波传感器机组及超声波探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 机组 超声波 探测器 | ||
【主权项】：
一种超声波传感器机组，其在基板上设置有多个超声波传感器，所述超声波传感器具有：设置于绝缘性基板的上面的基板侧电极；和与所述基板侧电极向对地配置、且具有导电性的振动膜，其特征在于，所述超声波传感器：具有在所述基板的上面形成的凹槽部；所述基板侧电极被设置于所述凹槽部的底部；所述振动膜设置成以覆盖所述凹槽部。
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