[发明专利]用于气体输送系统的涂布的方法有效
| 申请号： | 201180020177.2 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102859033A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 伊恩·肯沃西;杜安·奥特卡;郝方力;伦纳德·沙普利斯;杜义军 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;H01L21/205;H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种涂布用于等离子体工艺系统的气体输送系统的气体通道的内表面的方法，该等离子体处理系统诸如等离子体蚀刻系统，该方法包括（a）使耐腐蚀材料的流体前驱体流动通过气体通道，并沉积流体前驱体的层完全地覆盖该气体通道的内表面；（b）从内表面去除过量的流体前驱体；（c）固化该流体前驱体的沉积层，以形成耐腐蚀的材料涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气体 输送 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于涂布气体输送系统的气体通道的内表面的方法，该气体输送系统被配置成输送气体进入等离子处理系统的腔室，所述方法包括：(a)使耐腐蚀材料的流体前驱体流动通过所述气体通道，并沉积所述流体前驱体的层以覆盖所述气体通道的所述内表面;(b)从所述内表面去除过量的流体前驱体;(c)固化所述流体前驱体的所述沉积层，以形成耐腐蚀的材料涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
