[发明专利]形成在基板上的金属接触部的处理方法无效
| 申请号： | 201180020696.9 | 申请日： | 2011-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102870509A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 拉斐尔·卡巴尔 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;徐川 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在基板上获得金属接触部的方法，包括以下步骤：(a)沉积由金属粉末和溶剂的混合物形成的浆料形式的金属图形，(b)加热步骤(a)中形成的组件以蒸发所述溶剂，以及(c)退火所述组件以在所述金属图形和所述基板之间形成金属接触部。本发明的特征在于所述方法包括步骤(d)，在步骤(d)中通过能量密度在0.5J/cm2和15J/cm2之间的激光加热所述金属接触部。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 基板上 金属 接触 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种在基板上获得金属接触部的方法，所述方法包括下列步骤：(a)沉积由金属粉末和溶剂混合形成的浆料形式的金属图形；(b)加热步骤(a)中所形成的组件以蒸发所述溶剂；以及(c)进行退火以在所述金属图形和所述基板之间形成金属接触部；所述方法的特征在于，所述方法进一步包括步骤(d)，在所述步骤(d)中利用能量密度在0.5J/cm2和15J/cm2之间的激光加热所述金属接触部。
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