[发明专利]喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物、显示元件用层间绝缘膜及其形成方法有效
| 申请号： | 201180021053.6 | 申请日： | 2011-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN102870045A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 一户大吾 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F220/28;G03F7/039;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明为喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其含有：[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示的基团的结构单元(I)与含环氧基的结构单元的聚合物，[B]由肟磺酸酯化合物及鎓盐化合物所组成的群中选出的至少一种化合物，及[C]有机溶剂，其中，固体成分浓度为10质量%以上30质量%以下，在25℃的粘度为2.0MPa·s以上12MPa·s以下，而且作为[C]有机溶剂，至少含有(C1)在20℃的蒸气压为0.1mmHg以上且低于1mmHg的有机溶剂。 |
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| 搜索关键词： | 喷出 喷嘴式 涂布法用正型 射线 敏感性 组合 显示 元件 用层间 绝缘 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其含有：[A]在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示的基团的结构单元(I)与含环氧基的结构单元的聚合物、[B]由肟磺酸酯化合物及鎓盐化合物所组成的群中选出的至少一种化合物、及[C]有机溶剂，其中，该组合物的固体成分浓度为10质量%以上30质量%以下，在25℃的粘度为2.0mPa·s以上12mPa·s以下，而且，作为[C]有机溶剂，至少含有(C1)在20℃的蒸气压为0.1mmHg以上且低于1mmHg的有机溶剂，![]()
(式(1)中，R1及R2各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基；其中，上述烷基、环烷基或芳基所具有的一部分或全部氢原子可被取代；又，不存在R1及R2同时为氢原子的情况；R3为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R3m)3所示的基团，其中这些基团所具有的一部分或全部氢原子可被取代；M为Si、Ge或Sn；R3m为烷基；其中，R1与R3可连接，可与所键结的碳原子一起形成环状醚)。
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