[发明专利]板状构件的移送装置及吸附垫有效

专利信息
申请号: 201180022261.8 申请日: 2011-06-06
公开(公告)号: CN102870204A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 小山范男;桥本隆志 申请(专利权)人: 日本电气硝子株式会社
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B65G49/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张宝荣
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种板状构件的移送装置及吸附垫。所述板状构件的移送装置在利用经由吸附垫而作用的负压对作为板状构件的玻璃板(P)进行吸附保持的状态下,对板状构件进行移送,其中,吸附垫(30)在内表面具有突起(39),在对与玻璃板(P)的表面重合的保护片(B)进行吸附时,突起(39)贯通保护片(B),且在保护片的由突起形成的贯通部分的周围形成通气部(b1),经由该通气部将玻璃板(P)与保护片(B)一起进行吸附保持。
搜索关键词: 构件 移送 装置 吸附
【主权项】:
一种板状构件的移送装置,在利用经由吸附垫而作用的负压对板状构件进行吸附保持的状态下,对所述板状构件进行移送,其特征在于,所述吸附垫在其内表面具有突起,在利用负压对与所述板状构件的表面重合的保护片进行吸附时,所述突起贯通所述保护片,且在所述保护片的由所述突起形成的贯通部分的周围形成通气部,利用经由该通气部而作用于所述板状构件的负压,将所述板状构件与所述保护片一起进行吸附保持。
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