[发明专利]靶安装机构有效
| 申请号： | 201180022714.7 | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102884222A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 石丸泰;大山典生 | 申请（专利权）人： | 日本爱发科泰克能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;王诚华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置所使用的圆筒形的靶。所述靶具备圆筒形基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的中央区域和在除该中央区域以外的两端侧露出所述基体的连结区域。在所述阴极的连结部形成内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具。并且，在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 机构 | ||
【主权项】：
一种靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置中使用的圆筒形的靶，其特征在于，所述靶具备圆筒形的基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的中央区域和在除该中央区域以外的两端侧所述基体露出的连结区域；在所述阴极的连结部形成有内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具；在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具中的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。
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