[发明专利]导电性滑动膜、形成有导电性滑动膜的部件及其制造方法有效
| 申请号： | 201180023017.3 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102884221A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 泷优介 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;G02B7/02;G03B17/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;苗堃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的导电性滑动膜（50）是施加于相对滑动的部件（60）的表面的被膜。导电性滑动膜（50）是掺杂了金属元素的,电阻率在102～10-4[Ωcm]的范围，表面硬度在10～30[GPa]的范围的掺金属四面体无定形碳。导电性滑动膜具备高耐磨性和良好的滑动性，适于照相机用安装部件。 | ||
| 搜索关键词： | 导电性 滑动 形成 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种导电性滑动膜，是施加于相对滑动的部件的表面的导电性滑动膜，所述导电性滑动膜由掺杂了金属的四面体无定形碳形成，该导电性滑动膜的电阻率在102～10‑4Ωcm的范围。
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