[发明专利]具有非球面膜床的平台、具有该平台的压力传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 201180023050.6 | 申请日： | 2011-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102883992A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 英·图安·塔姆;迪特尔·施托尔塞;拉斐尔·泰伊朋 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;谢丽娜 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于具有膜床的平台的制造的方法包括如下步骤：提供包括硅的平台主体；并且借助激光烧蚀从该平台主体的表面去除硅材料。优选地，经烧蚀的表面被另外氧化；并且经处理并氧化的表面被蚀刻。得到的压力传感器（1）包括具有膜床（6a、6b）的两个平台（2a、2b），该膜床（6a、6b）具有用于支撑测量膜（3）的轮廓，其中该轮廓基本对应于该测量膜（3）的弯曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 球面 平台 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造具有膜床的平台的方法，包括如下步骤：提供平台主体，所述平台主体包括硅；以及借助激光烧蚀从所述平台主体的表面去除硅材料。
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