[发明专利]接触式探针有效
| 申请号： | 201180023166.X | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102884437A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 平野贵之;古保里隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 翟赟琪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够实现与被测器件(特别是被测器件中含有的Sn)的低附着性，并且能够长期保持稳定接触电阻的接触式探针和具有它的连接装置。本发明涉及一种与电极反复接触的接触式探针，其中，在与电极接触的所述接触式探针的表面，形成有含有金属元件的碳被膜，所述金属元素在碳被膜表面的浓度比碳被膜整体的平均浓度低。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 探针 | ||
【主权项】：
一种接触式探针，其特征在于，是与电极反复接触的接触式探针，其中，在与电极接触的所述接触式探针表面形成有含有金属元素的碳被膜，所述金属元素在碳被膜表面的浓度比碳被膜全体的平均浓度低。
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