[发明专利]具有流体分离特性的封闭室有效
申请号: | 201180023556.7 | 申请日: | 2011-05-02 |
公开(公告)号: | CN102893372A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 安德烈亚斯·格莱斯纳;赖纳·奥博威格 | 申请(专利权)人: | 朗姆研究公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/683 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 李献忠 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | 通过在封闭式处理室内提供磁驱动环状卡盘和至少一个处理流体收集器,且环状卡盘和流体收集器相对于彼此能竖直移动,来自封闭式处理室内的过量处理流体的选择性回收得以实现。 | ||
搜索关键词: | 具有 流体 分离 特性 封闭 | ||
【主权项】:
用于处理晶片状物件的设备,包括封闭式处理室、位于所述封闭式处理室内的环状卡盘、以及穿过所述封闭式处理室的底壁与所述封闭式处理室外面流体连通的至少一个处理流体收集器,其中所述环状卡盘适于在没有物理接触的情况下通过磁轴承驱动,且其中所述环状卡盘和所述至少一个处理流体收集器相对于彼此能竖直移动。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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