[发明专利]形状测定装置及形状测定方法

摘要

以切实地抑制不适合的数据对测定结果造成影响为目的，形状测定装置包含：投影部，将具有共通的重复构造、且相位不同的图案依次投影至测定对象物上；摄像部，在每次将所述图案的各个投影至所述测定对象物时以不同的曝光量拍摄所述测定对象物并取得多个图像数据组；选出部，在所述测定对象物的各区域从所述多个图像数据组之中选出所述摄像部的输入输出特性成为线性的组内的全部数据在有效亮度范围内的数据组作为适当数据组；及形状算出部，根据所述选出的适当数据组对每个所述区域求出形状。

主权项

一种形状测定装置，其特征在于，包含：投影部，将具有共通的重复构造、且相位不同的多种图案依次投影至测定对象物上；摄像部，在每次将所述多种图案的各个投影至所述测定对象物时拍摄所述测定对象物并取得图像数据组；选出部，从所取得的所述图像数据组之中选出有关所述测定对象物上的同一区域、且组内的全部数据在有效亮度范围内的数据组作为适当数据组；及形状算出部，根据所选出的所述适当数据组，求出在所述测定对象物成为所述适当数据的取得来源的区域的形状。