[发明专利]微机电系统有效
| 申请号： | 201180025545.2 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102906008A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | A.斯坦珀;C.V.扬斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种形成微机电系统（MEMS）的方法包括在MEMS的腔体内的第一绝缘体层上形成下电极。该方法还包括在下电极的顶部上的另一绝缘材料之上形成上电极，上电极与下电极至少部分地接触。下电极和上电极的形成包括调整下电极和上电极的金属体积以修改梁弯曲。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 | ||
【主权项】：
一种形成微机电系统（MEMS）梁的方法，包括：在牺牲层上形成下电极；在所述下电极上形成绝缘体层；以及在所述下电极的顶部上的绝缘材料之上形成上电极，所述上电极与所述下电极至少部分地接触，其中所述下电极和所述上电极的形成包括：调整所述下电极和所述上电极的金属体积，以修改梁弯曲。
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