[发明专利]用于物理气相沉积的腔室有效
| 申请号： | 201180026737.5 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102918622A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | R·欣特舒斯特;L·利珀特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35;C23C14/34;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡林岭;刘佳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种用于物理气相沉积的腔室(200;300;400;500;600;700;900;1000)。腔室包含外壳(210;310;410;510;610;710;910;1010)、腔门(220;320;420;520;620;720;920;1100;1220)，用于开启与关闭该外壳；以及轴承(240;340;440;540;640;740;940;1140;1240)，用于容置靶材(230)，其中轴承位于第一方向(260)中。此外，腔室适于使得在该第一方向中使该靶材至少部分移除于该腔室外。根据实施例，提供了一种用于物理气相沉积的腔室(200;300;400;500;600;700;900;1000)。该腔室适于容置至少一靶材(230)与基板。该腔室包含外壳、腔门与至少一轴承以固定该靶材，其中该轴承装设至腔门。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物理 沉积 | ||
【主权项】：
一种用于物理气相沉积的腔室(200;300;400;500;600;700;900;1000)，包含：外壳(210;310;410;510;610;710;910;1010)；腔门(220;320;420;520;620;720;920;1020;1100;1220)，用于开启及关闭所述外壳；以及轴承(240;340;440;540;640;740;1140;1240)，用于容置靶材(230)，所述轴承位于第一方向(260)中；其中所述腔室适于使得在所述第一方向中使所述靶材至少部分移除于所述腔室外。
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