[发明专利]抗反射涂料组合物和制造微电子器件的方法有效
| 申请号： | 201180027257.0 | 申请日： | 2011-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102939549A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 姚晖蓉;殷建;林观阳;M·O·奈塞尔;D·J·阿卜杜拉 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | G02B1/04 | 分类号： | G02B1/04;G02B1/10;G03F7/09;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种抗反射涂料组合物，其包含第一聚合物和第二聚合物的混合物以及热酸产生剂，其中第一聚合物包含至少一个氟代醇部分、至少一个脂肪族羟基部分和至少一个不同于氟代醇的pKa范围在约8-约11的酸部分；其中第二聚合物是氨基塑料化合物与包含至少一个羟基和/或至少一个酸基的化合物的反应产物。本发明进一步涉及一种采用该新型组合物成像的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 涂料 组合 制造 微电子 器件 方法 | ||
【主权项】：
一种抗反射涂料，其包含第一聚合物和第二聚合物的混合物以及热酸产生剂，其中第一聚合物包含至少一个氟代醇部分、至少一个脂肪族羟基部分和至少一个不同于氟代醇的pKa范围在约8‑约11的酸部分；其中第二聚合物是氨基塑料化合物与包含至少一个羟基和/或至少一个酸基的化合物的反应产物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AZ电子材料美国公司，未经AZ电子材料美国公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180027257.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双频光栅干涉仪位移测量系统
- 下一篇：太阳能电池制造工艺中膜叠堆的烧蚀
