[发明专利]太阳能电池的制造装置及太阳能电池的制造方法有效
| 申请号： | 201180028449.3 | 申请日： | 2011-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102934206A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 酒田现示 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H01L21/265 | 分类号： | H01L21/265;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种批量生产性良好且成本低的太阳能电池的制造装置及太阳能电池的制造方法。具有装料闸室（2），其通过切换大气气氛和真空气氛取放基板（S）；处理室（4），其在真空气氛中对太阳能电池用的基板（S）导入pn结形成用的杂质离子；以及搬运室（1），其内置有在装料闸室（2）和处理室（4）之间搬运基板的搬运装置（6）。杂质离子的导入通过照射离子枪（5）发出的杂质离子来进行，离子枪（5）设置为作为其离子照射面的栅板（52）与搬运至处理室（4）的基板（S）相对设置。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池制造装置，其特征在于，具有：装料闸室，其通过切换大气气氛和真空气氛取放基板；处理室，其在真空气氛中对太阳能电池用的基板导入pn结形成用的杂质离子；以及搬运室，其内置有在装料闸室和处理室之间搬运基板的搬运装置；所述杂质离子的导入通过用离子枪发出的杂质离子照射来进行，离子枪设置为其离子照射面与搬运至处理室的基板相对设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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