[发明专利]滚筒模具的制作装置以及制作方法

摘要

本发明能够一边抑制成本增加一边抑制滚筒模具的向旋转轴方向的旋转偏摆引起描画图案变得不鲜明的情况。为了实现该目的，滚筒模具制作装置（1）包括：电子束照射装置（2）；掩模（3），该掩模具有使电子束的一部分透过的开口部，以形成同时在抗蚀剂上进行描画的多束电子束；使滚筒模具（100）绕旋转轴旋转的旋转驱动装置（4）；对滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移量进行检测位移量检测传感器（5）；控制装置（6）；以及致动器（7），该致动器（7）根据来自该控制装置（6）的控制信号使电子束的描画位置与滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的位移随动，抑制滚筒模具（100）的向旋转轴（8）方向的旋转偏摆位移所导致的抗蚀剂的曝光位置的偏差。

主权项

一种滚筒模具的制作装置，其是制作滚筒模具的装置，所述滚筒模具是用于转印图案的滚筒状的压模，所述滚筒模具的制作装置的特征在于，包括：电子束照射装置，所述电子束照射装置对涂敷有抗蚀剂的所述滚筒模具照射电子束；掩模，所述掩模具有使从该电子束照射装置照射的电子束的一部分透过的开口部，以形成同时在所述抗蚀剂上进行描画的多束电子束；旋转驱动装置，所述旋转驱动装置使所述滚筒模具绕旋转轴旋转；位移量检测传感器，在通过该旋转驱动装置进行旋转时，所述位移量检测传感器对所述滚筒模具的向旋转轴方向的旋转偏摆位移量进行检测；控制装置，所述控制装置接收该位移量检测传感器的检测信号，发送用于使所述电子束在所述滚筒模具的所述抗蚀剂上的描画位置与该滚筒模具随动的控制信号；以及致动器，所述致动器根据来自该控制装置的控制信号使得所述电子束的描画位置与所述滚筒模具的向旋转轴方向的位移随动，所述滚筒模具的制作装置抑制由所述滚筒模具的向旋转轴方向的旋转偏摆位移所导致的所述抗蚀剂的曝光位置的偏差。