[发明专利]涂覆表面的方法和设备有效
| 申请号： | 201180029156.7 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102947479A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·施特塞尔;霍尔格·海尔;赫伯特·施普赖策;伯恩哈德·舒巴赫;约翰内斯·达森布罗克 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/32;H01L51/00;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 郭国清;穆德骏 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及利用分子（5，6）涂覆载体材料（2）的表面（1）的方法，其中来自分子储存器（3，4）的所述分子（5，6）被转化为气体状态并电离，在所述带电分子（5，6）到达所述表面（1）的途中，使其暴露于至少一个场分量与所述带电分子（5，6）定向运动方向垂直的至少一个电场和/或磁场，以便向所述带电分子（5，6）施加力的导向作用，所述导向作用与所述带电分子（5，6）的定向运动方向垂直。电和/或磁聚焦装置（8），例如四极场，作用于所述带电分子（5，6）在所述分子储存器（3，4）和所述表面（1）之间的定向运动。隔膜装置（12）以这样的方式布置在所述分子储存器（3，4）和所述表面（1）之间，所述方式使得仅具有指定的质荷比的分子（5，6）通过所述隔膜装置（12）到达表面（1）。借助于合适的电场和/或磁场或借助于可随时间变化的隔膜装置（14），防止所述带电分子（5，6）在指定的时间内撞击所述表面（1）。由此促进所述表面的结构化涂覆。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 方法 设备 | ||
【主权项】：
利用分子涂覆载体材料的表面的方法，其中来自分子储存器的分子被转变为气态并电离，其中带电分子在电场中经历沿表面方向的定向运动，并且其中所述分子碰撞所述表面并在那里被吸收，其特征在于所述带电分子（5，6）在达到所述表面（1）的途中，被暴露于至少一个电场和/或磁场，所述电场和/或磁场具有至少一个与所述带电分子（5，6）定向运动方向垂直的场分量，以便向所述带电分子（5，6）施加力的导向作用，所述导向作用与所述带电分子（5，6）的定向运动方向垂直。
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