[发明专利]制造多个光学设备的方法无效

专利信息
申请号: 201180029481.3 申请日: 2011-06-10
公开(公告)号: CN103201838A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: H·拉德曼;P·里尔 申请(专利权)人: 赫普塔冈微光学有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇;王博
地址: 新加坡*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要: 根据本发明的一个方面,公开了一种在晶圆级上制造多个光学设备的方法,该方法包括:提供具有多个以孔图案布置在相机模块处的孔的晶圆级间隔物,提供具有红外(IR)滤光片的晶圆级基板,该滤光片被图案化以包括多个IR滤光片部分,以IR滤光片图案布置IR滤光片部分,从而穿过基板并到达相机模块的辐射路径穿过IR滤光片部分,以及将基板和间隔物彼此堆叠,其中,孔和滤光片部分对齐。
搜索关键词: 制造 光学 设备 方法
【主权项】:
一种在晶圆级上制造多个光学设备的方法,其中光学设备是具有传感器模块的相机模块或用于具有传感器模块的相机模块的光学模块,每个光学设备均限定光学路径,该方法包括下述步骤:‑提供第一晶圆级基板,该晶圆级基板包括透镜图案并且还包括波长选择滤光片,该滤光片被图案化以包括多个滤光片部分;‑提供晶圆级间隔物,其具有以对应于透镜图案的以孔图案布置的多个孔;‑将第一基板和间隔物彼此堆叠,其中孔和透镜对齐,并且滤光片部分的布置和尺寸使得各条光学路径穿过各自的滤光片部分,堆叠步骤产生晶圆级堆叠,及‑将晶圆级堆叠分割成光学设备。
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