[发明专利]弹性波元件有效
| 申请号： | 201180029717.3 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102948073A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 冈本庄司;后藤令;中西秀和;中村弘幸 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/72 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种弹性波元件。IDT电极从压电体侧开始依次具有以Mo为主成分的第1电极层、和设置在第1电极层上且以Al为主成分的第2电极层，IDT电极具有0.15λ以下的总膜厚，并且第1电极层具有0.05λ以上的膜厚，第2电极层具有0.025λ以上的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 元件 | ||
【主权项】：
一种弹性波元件，其具备：压电体；IDT电极，其被设置在所述压电体上，且激励波长为λ的主要弹性波；氧化硅膜，其在所述压电体上被设置成覆盖所述IDT电极，且具有0.2λ以上、小于1λ的膜厚；和电介质薄膜，其被设置在所述氧化硅膜上，且由传播比在所述氧化硅膜中传播的横波的速度还快的横波的介质构成，具有1λ以上且5λ以下的膜厚，所述IDT电极从所述压电体侧开始依次具有以Mo为主成分的第1电极层、和设置在所述第1电极层上且以Al为主成分的第2电极层，所述IDT电极具有0.15λ以下的总膜厚，且所述第1电极层具有0.05λ以上的膜厚，并且所述第2电极层具有0.025λ以上的膜厚。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180029717.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
