[发明专利]钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置

摘要

钟罩具备金属性钟罩(1)和用于设置该钟罩(1)的金属性基板(2)，通过填料(3)使容器内部密闭。在基板(2)上连接压力计(4)、气体导入管路(5)、气体排气管路(6)，使钟罩(1)的内部压力的监测以及气体的导入和排气成为可能。在气体排气管路(6)的路线上设置真空泵(7)，通过该真空泵(7)，以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压。通过该真空泵(7)，以使钟罩的内部压力低于水的蒸气压的方式进行减压，由此有效地进行水分除去，在短时间内结束钟罩的干燥。通过本发明，提供提高钟罩内表面的清洁度从而有助于高纯度多晶硅的制造的技术。

主权项

一种钟罩清洁化方法，是在利用西门子法的多晶硅制造中使用的钟罩的清洁化方法，其中，所述钟罩的使用水的清洗工序后，具备干燥工序，即以使该钟罩内部达到低于内表面温度下的水的蒸气压的压力的方式进行减压来除去水分。