[发明专利]多层粘合片及电子元件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180031760.3 申请日: 2011-07-01
公开(公告)号: CN102971839A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 齐藤岳史;鹿野和典 申请(专利权)人: 电气化学工业株式会社
主分类号: H01L21/52 分类号: H01L21/52;C09J4/02;C09J7/02;C09J133/04;C09J175/14;C09J183/04;H01L21/301
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 杨黎峰
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种多层粘合片,其即使在将丙烯酸酯共聚物用于芯片贴膜的情况下,在拾取时也可容易地将粘合层与芯片贴膜之间予以剥离,由此能够在切割后容易地进行半导体芯片的拾取作业;该多层粘合片具有基材膜、层合于基材膜的一侧表面的粘合层、及层合于粘合层的露出面的芯片贴膜,构成粘合层的粘合剂具有(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)、紫外线聚合性化合物(B)、多官能异氰酸酯硬化剂(C)、光聚合引发剂(D)、及硅氧烷聚合物(E)。
搜索关键词: 多层 粘合 电子元件 制造 方法
【主权项】:
一种多层粘合片,其具有基材膜、层合于基材膜的一侧表面的粘合层、以及层合于粘合层的露出面的芯片贴膜;构成粘合层的粘合剂含有(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)、紫外线聚合性化合物(B)、多官能异氰酸酯硬化剂(C)、光聚合引发剂(D)、及硅氧烷聚合物(E);(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)为(甲基)丙烯酸酯单体的共聚物或(甲基)丙烯酸酯单体与乙烯系化合物单体的共聚物的任一者,(甲基)丙烯酸酯单体与乙烯系化合物单体皆不具有羟基;紫外线聚合性化合物(B)由氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物(B1)与多官能(甲基)丙烯酸酯(B2)所构成,氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物(B1)具有10个以上乙烯基,重均分子量Mw为50000以上,且所述重均分子量Mw与数均分子量Mn的比,即分散度Mw/Mn为5以上;光聚合引发剂(D)具有羟基;硅氧烷聚合物(E)具有羟基;在构成粘合层的粘合剂中,(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)为100质量份,紫外线聚合性化合物(B)为5~200质量份,多官能异氰酸酯硬化剂(C)为0.5~20质量份,光聚合引发剂(D)为0.1~20质量份,及硅氧烷聚合物(E)为0.1~20质量份。
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