[发明专利]多层粘合片及电子元件的制造方法有效
申请号: | 201180031760.3 | 申请日: | 2011-07-01 |
公开(公告)号: | CN102971839A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 齐藤岳史;鹿野和典 | 申请(专利权)人: | 电气化学工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;C09J4/02;C09J7/02;C09J133/04;C09J175/14;C09J183/04;H01L21/301 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 杨黎峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种多层粘合片,其即使在将丙烯酸酯共聚物用于芯片贴膜的情况下,在拾取时也可容易地将粘合层与芯片贴膜之间予以剥离,由此能够在切割后容易地进行半导体芯片的拾取作业;该多层粘合片具有基材膜、层合于基材膜的一侧表面的粘合层、及层合于粘合层的露出面的芯片贴膜,构成粘合层的粘合剂具有(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)、紫外线聚合性化合物(B)、多官能异氰酸酯硬化剂(C)、光聚合引发剂(D)、及硅氧烷聚合物(E)。 | ||
搜索关键词: | 多层 粘合 电子元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种多层粘合片,其具有基材膜、层合于基材膜的一侧表面的粘合层、以及层合于粘合层的露出面的芯片贴膜;构成粘合层的粘合剂含有(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)、紫外线聚合性化合物(B)、多官能异氰酸酯硬化剂(C)、光聚合引发剂(D)、及硅氧烷聚合物(E);(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)为(甲基)丙烯酸酯单体的共聚物或(甲基)丙烯酸酯单体与乙烯系化合物单体的共聚物的任一者,(甲基)丙烯酸酯单体与乙烯系化合物单体皆不具有羟基;紫外线聚合性化合物(B)由氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物(B1)与多官能(甲基)丙烯酸酯(B2)所构成,氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物(B1)具有10个以上乙烯基,重均分子量Mw为50000以上,且所述重均分子量Mw与数均分子量Mn的比,即分散度Mw/Mn为5以上;光聚合引发剂(D)具有羟基;硅氧烷聚合物(E)具有羟基;在构成粘合层的粘合剂中,(甲基)丙烯酸酯共聚物(A)为100质量份,紫外线聚合性化合物(B)为5~200质量份,多官能异氰酸酯硬化剂(C)为0.5~20质量份,光聚合引发剂(D)为0.1~20质量份,及硅氧烷聚合物(E)为0.1~20质量份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电气化学工业株式会社,未经电气化学工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201180031760.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:含煤颗粒的压制品的制备方法
- 下一篇:一种诱捕黄鳝泥鳅的装置
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造